箱式爐以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，采用外殼整體密封、蓋板密封采用硅膠泥、爐門(mén)采用硅膠墊并通有水冷系統(tǒng)，氣體經(jīng)過(guò)流量計(jì)后由后膛進(jìn)出，有多處洗爐膛進(jìn)氣口、出氣口處有燃燒嘴，可以通氫氣、氬氣、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化碳、氨分解氣等氣體。